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该系统广泛用于各种反应温度在1100℃左右的CVD实验，也可用于：真空烧结、真空气氛保护烧结、纳米材料制备、电池材料制备等多研究领域。
产品型号：HOU-1200
商品简述：该系统主要由1200型单温区管式炉、两路气体浮子子流量计、HGL-4C真空泵和不锈钢真空管道等组成；
重要零件材质：气路管道采用304抛光管制作，具有耐腐蚀性强, 内壁洁净,不易污染气体的优良特点；气路接头采用全不锈钢双卡套接头，确保连接方便,不易泄漏。
商品应用：广泛用于各种反应温度在1100℃左右的CVD实验；也可用于真空烧结、气氛保护烧结、纳米材料制备、电池材料制备等多个研究领域。
1200型两路气体配比器CVD管式炉系统主要技术参数
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产品名称 |
1200型CVD系统 |
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常规型号 |
HOU-1200-60-2F（浮子流量计）/ HOU-1200-80-2Z（质量流量计） |
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HOU-1200-80F（浮子流量计）/ HOU-1200-80-2Z（质量流量计） |
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HOU-1200-100-2F（浮子流量计）/ HOU-12700-100-2Z（质量流量计） |
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炉膛模式 |
开启式 |
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炉膛材料 |
进口纤维 |
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加热元件 |
电阻丝 |
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极限温度 |
1150℃ |
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工作温度 |
≤1100℃ |
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升温速率 |
≤20℃(建议:10℃/min) |
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加热温区 |
单温区 |
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温区长度 |
440mm |
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恒温区长 |
150mm |
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炉管材质 |
石英管 |
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炉管常规直径
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60mm |
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80mm |
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100mm |
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炉管长度 |
1000mm |
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密封方式 |
不锈钢真空法兰 |
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气 密 性 |
真空法兰和石英炉管的气密性最高可达4.03×10-3Pa |
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控制模式 |
智能PID多段程序控温 |
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控温精度 |
±1℃ |
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温度曲线 |
50段”时间—温度曲线”任意可设 |
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预存曲线 |
可预存10条温度曲线 |
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超温报警 |
有 |
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过流保护 |
有 |
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断偶提示 |
有 |
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测温元件 |
N型热电偶 |
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供电电源 |
220V 50Hz～60Hz |
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整机功率 |
4KW |
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气体通道 |
可连接2种气源 |